EBARA干式真空泵维修零件
Ebara多层次干式抽气系统是由微处理控制器、模组、干式真空泵组合而成的控制与监控设备。
Ebara真空抽气系统可局部性由手动控制或安装客制化LCD面板介面控制,所有主要控制元件皆安装于抽气系统的线路内。干式抽气系统附有传感器,可持续监控重要系统性能参数并进一步提醒问题或警告。
Htc日扬真空 24小时全年无休完善服务
Htc日扬真空服务团队提供与原厂相同的标准、品质的标准维护程序管理,每一个Ebara干式真空泵于拆解后都会进行全部零件的消毒与检查,并更换损坏或磨损的零件以及所有的轴承、O型环、密封件及垫圈。
Htc日扬真空会尽一切努力从初始的沟通与辅导至售后维修服务做到完美,以实现Htc日扬真空对客户的承诺。
产品细项
50.20 - EBARA干式真空泵维修包
50.20 - EBARA干式真空泵维修包里有传动轴(Drive Shaft)、定时齿轮(Timing Gear)、油位开关(Oil Level Switch)、 轴承壳(Bearing Housing)、压力阀(Pressure Valve)、压力量测计(Pressure Gauge)等, 应用于EBARA 50.20干式真空泵维修.我们也提供对所有EBARA干式真空泵进行真空帮浦检查和维修服务。
您正在寻找有关EBARA真空帮浦干式真空泵产品、服务和维修包套件, 可提供提升制程系统运作效率的专业知识及各种建议。进一步了解请联系我们。
Parts Name |
HTC No. |
Drive Shaft |
800314002030 |
Driven Shaft |
800314002030 |
Casing Top |
800314001010 |
Casing Bottom |
800314001010 |
Drive Shaft |
800314001030 |
Driven Shaft |
800314001030 |
Timing Gear |
800315001140 |
Oil Level Switch |
800315001290 |
Bearing Housing |
800315001080 |
Piston Ring C-Ring |
800315001130 |
Pressure Valve |
800315003420 |
Pressure Gauge |
8003150003220 |
(CM100) |
1A023430010 |